包頭液氬供應(yīng)商介紹選擇高純氣體管道的要點
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m.hnkkxsp.com | 發(fā)布時間:2022年08月29日
高純度氣體管道的輸送管道應(yīng)按工藝進行.允許雜質(zhì)含量.包頭液氬供應(yīng)商根據(jù)顆粒含量的要求,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。例如,由于其復雜的生產(chǎn)技術(shù),半導體工業(yè)具有復雜的生產(chǎn)技術(shù).加工不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體有特定而嚴格的要求,從微米技術(shù)到亞微米.深亞微米(小于0.35g.m)10-6)ppm等級)不能滿足要求,需要達到10。因此,輸送管道本身的管道材料特性需要適應(yīng)高純度。
談?wù)劵?微電子.光電.清潔生物制藥等高科技產(chǎn)業(yè).包頭高純氣體管道安裝在超純管道系統(tǒng)中的選擇。
對于輸送高純度氣體的管道,影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特點是透氣性.排氣速度.吸附性.表面粗糙度和耐磨性.耐腐蝕性。
1.透氣性:
氣體通過材料從壓力或分壓的一側(cè)流入壓力或分壓。低側(cè)的現(xiàn)象是氣體滲透。輸送要求ppm對于純度高于等級的氣體,需要從透氣性的角度選擇不銹鋼管或鋼管。如果不適當選擇不符合要求的管材,任何凈化手段都是徒勞的。
2.排氣速度:
氮存在于材料冶煉過程中形成的管道晶界或晶格中.碳氫化合物和其他雜質(zhì),這些雜質(zhì)在高純度氣體傳播過程中緩慢釋放,污染高純度氣體。雜質(zhì)需要ppb上述高純度氣體。通常低碳不銹鋼管的排氣速度很低。
3.吸附性:
水等雜質(zhì)是極性分子,所以吸附性好。塑料或表面粗糙的材料容易吸收水分等雜質(zhì),銅對水的吸附性很強。用這些材料輸送高純度氣體容易受到污染。ppm除紫色銅管外,高純度氣體不使用銅管和塑料管。氣體接觸墊片.不允許使用橡膠填充劑.塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
4.表面粗糙度和耐磨性:
為了保障輸送氣體的清潔度,管道材料的內(nèi)表面需要很高的光澤度。這樣可以防止污染顆粒和水分留在管壁上,凈化時容易吹走。管道干凈耐磨,高速清洗產(chǎn)生的金屬顆粒較少,不銹鋼產(chǎn)生的顆粒比銅管少,所以不銹鋼管的耐磨性比鋼管好。
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